- 最多可以同时测量8个点
- 浓度范围从ppm到100％均可显示。
- 非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。
- 传感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法兰）
- 特殊涂层应用于高度耐用的传感器，以进一步提高耐用性。
可以显示多种浓度，从在多种浓度下测量的ppm水平到100％。- 改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。 - 交流宽电源AC100-240VAC（LC-450A）
* LC-450D由24V DC驱动 - 紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。 - 符合RoHS的产品
- CE标志自我声明产品
EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003 - 无电压触点的最小开关容量为12V或更高，并且无法承受微小的负载。
- 非电压触点的最小开关容量为12V或20mA或更高，并且无法承受微小的负载。
- 低浓度测量
可以测量ppb到100％ - 操作简便
按功能可轻松操作 - 吹扫功能
比较气体更稳定，测量更惊鹊（仅适用于具有吹扫功能的规格） - 高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理（可选） - 无电压触点的最小开关容量为12V或更高，并且不能承受微小的负载。
日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件 MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860 日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件氧气表MS-500
MS-500设备规格
测量原理 氧化锆轻型电池 形状 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式） 显示方式 4位数字显示（密度显示） 测量范围 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20?10 -0大气压
自动范围重复性 在±0.5％FS 0-1％范围内或更高
±1％FS或以下或±
0.1ppm范围内0-1％小于0-1ppm，大于atm范围不在保证的浓度范围内测量点数 1-8 样气条件 压力 10 -3至200 KPa（绝对压力） 流量 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然扩散状态的测量） 湿度 露点低于环境温度 温度 0-100℃ 其他 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 比较气 大气层 记录仪输出 仅变速箱输出 变速箱输出 RS-232C 报警输出 没有 热身时间 6分钟以内 尺寸 MS-500（控制器） 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） MS-510（转换器） 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） 传感器单元 SD16NW 总长100 mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51） SD25NW 总长100mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48） SD40NW 总长100 mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49） 大众 MS-500（控制器） 约0.6Kg MS-510（转换器） 约0.5kg 传感器单元 SD16NW 约0.2Kg SD25NW 约0.2Kg SD40NW 约0.35Kg 外部连接 真空法兰之一（NW16、25、40） 使用电源 24VDC±10％ 氧气计LC-450A，LC-450D
LC-450A设备规格
测量原理 氧化锆轻型电池 形状 桌面型/面板安装型 显示方式 4位数字显示（密度显示） 测量范围 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20?10 -0ATM自动范围 重复性 在±1％FS 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围 取样方式 内置泵的连续吸入型 样气条件 压力 加压30 KPa以下 流量 1,000-2,000毫升/分钟 湿度 露点低于环境温度 温度 0-50℃ 其他 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 比较气 大气层 记录仪
输出氧气浓度输出 在4-20mA和0-20mA之间切换（可选0-10V）绝缘，负载电阻550Ω或更小
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度输出范围 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围 变速箱输出 RS-232C 报警输出 失败（设备错误） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）ALM（浓度警报） 2点（H / L） 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）RDY（预热信号） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下 MRK（范围标记）输出 2分 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下 热身时间 5分钟以内 尺寸 身体 210（W）x 134（H）x 300（D）mm（不包括突起） 大众 约6kg 气体
连接口进口 Rc1 / 4 旁路输出 Rc1 / 4 出口 Rc1 / 4 使用电源 100-240VAC，50VA（稳定：35VA）50Hz / 60Hz LC-450D设备规格
测量原理 氧化锆轻型电池 形状 桌面型/面板安装型 显示方式 4位数字显示（密度显示） 测量范围 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20?10 -0ATM自动范围 重复性 在±1％FS 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围 取样方式 内置泵的连续吸入型 样气条件 压力 加压30 KPa以下 流量 ?1,500L /分钟 湿度 露点低于环境温度 温度 0-50℃ 其他 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 比较气 大气层 记录仪
输出氧气浓度输出 0-10VDC，绝缘，负载电阻600kΩ或更高
（选件：4-20mADC，绝缘，负载电阻550Ω或更低）
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度输出范围 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围 变速箱输出 RS-232C 报警输出 失败（设备错误） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）ALM（浓度警报） 2点（L / LL） 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）RDY（预热信号） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
在预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）MRK（范围标记）输出 2分 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下 热身时间 5分钟以内 尺寸 身体 240（W）x 134（H）x 210（D）mm（不包括突起） 大众 约5kg 气体
连接口进口 Rc1 / 8 旁路输出 Rc1 / 8 出口 Rc1 / 8 使用电源 24VDC±10％，1.25A（30VA，稳态） 氧气计LC-860
LC-860设备规格
测量原理 氧化锆轻型电池 形状 桌面型/面板安装型 显示方式 6位数字显示（密度显示） 测量范围 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20?10 -0大气压
自动/固定范围重复性
氧气浓度在±1％FS之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围取样方式 内置泵的连续吸入型 样气条件 压力 加压30 KPa以下 流量 ?1,500mL /分钟 湿度 露点低于环境温度 温度 0-50℃ 其他 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 比较气 大气层 记录仪
输出氧气浓度输出 4-20mA / 0-10V 4-20mA
：绝缘，负载电阻为600Ω或更低
0-10V：绝缘，负载电阻为500Ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度输出范围 0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10 -20 -10 -0 或自动/固定范围的任意4个范围 变速箱输出 RS-232C 报警输出 失败（设备错误） 1分 非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
设备异常导致触点闭合（可以更改接点操作）ALM（浓度警报） 2分 非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
发生警报时，触点闭合（可以更改触点操作）RDY（预热信号） 1分 非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.5A或更小
预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）MRK（范围标记）输出 3分 非电压接点，接点容量24VDC / AC以下，0.1A以下 热身时间 20分钟以内 尺寸 身体 288（W）x 144（H）x 400（D）mm（不包括突起） 大众 约10kg 气体
连接口进口 Rc1 / 8 旁路输出 Rc1 / 8 出口 Rc1 / 4 使用电源 100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的