而且电子束设备的功率可以做得比激光功率大，所以电子束热处理工艺发展前景看好。

   用电子束加热金属使之表面熔化后，哈默纳科热处理设备谐波SHF-45-100-2UH可在熔化区内加入添加元素，使金属表面形成一层很薄的新的合金层，从而获得更好的物理力学性能。其中，铸铁的电子束熔化处理可以产生非常细的莱氏体组织，其优点是抗滑动磨损性能好。研究表明，铝、钦、镍的各种合金几乎均可进行添加元素处理，从而使其耐磨性能大大提高。

   4.电子束曝光

   电子束曝光是先利用低功率密度的电子束照射称为电致抗蚀剂的高分子材料，由入射电子与高分子相碰撞，使分子的链被切断或重新聚合而引起分子量的变化，这一步骤也称为电子束光刻。通常将它作为集成电路、微电子器件以及微型机械元器件的刻蚀前置工序。如果按规定图形进行电子束曝光，就会在电致抗蚀剂中留下潜像。然后将它浸入哈默纳科热处理设备谐波SHF-45-100-2UH适当的溶剂中，则由于分子量不同而溶解度不一样，就会使潜像显影出来，

电子束曝光主要分为两类:扫描电子束曝光，又称电子束线曝光;投影电子束曝光，又称电子束面曝光·线曝光是将聚焦到小于1E}m的电子束斑在大约0.5 -5mm的范围内自动扫描，可曝光出任意形状的图形。