简要说明：铸鑫牌的三坐标工作平台在电子系统中的设计产品：估价：面议，规格：完善，产品系列编号：齐全

　　三坐标工作平台是整个电子注分析系统的核心部分，也是设计难度最大的部分。在测量电子注截面积尺寸、电流密度分布以及电子注沿轴向特性分布时，收集极在三维空间内逐点采样的间距保持性、采样均匀性、收集极在空间的定位精度等技术指标完全取决于三坐标精密移动工作台的性能。此外，真空度的高低对电子注性能影响很大，当真空度低于1.33×10－3Pa时，电子注轴线附近会形成严重的离子积累效应及离子与电子的中和现象，致使电子枪阴极中心产生离子斑，离子斑的存在会使电子注表现出明显的非层流性和强烈的发散性，使电子注中的电流密度分布及横向速度分布发生显著变化，阳极截获电子增加，从而大大影响器件性能。因此，在电子注分析系统中，电子枪、收集极以及三坐标精密移动工作台必须工作在真空度为1．33×10－5Pa的环境中，这就要求三坐标精密移动工作台在保证测量范围、运动精度和工作稳定性的前提下，必须布局合理、结构紧凑，最大限度地减小体积，这就为设计增加了难度。