微机械惯性传感器已成为许多消费产品的一个组成部分，如手持移动设备，数码相机和游戏控制器。另外，微机械惯性传感器还广泛用于工业，汽车的安全性和稳定性的控制和导航的振动监测领域。在一般情况下，微传感器可以是压电的，海德汉735117-52编码器压阻或电容式传感器。然而，高的热稳定性和高灵敏度的电容感应使其成为广泛的应用更具吸引力。
基本电容传感器接口电路与由电容 - 电压转换器数字读数的能力（C / V）海德汉735117-52编码器，随后模拟到数字转换器（A / D）和信号调理电路。在开环（无反馈）来运行这种传感器可以形成一个相对简单的系统，该系统本身是相对稳定的。然而，微机电系统参数的开环操作将非常敏感。此外，整个系统由传感器系统的线性的线性影响链中的每个模块，海德汉735117-52编码器和C / V和A / D要求的动态范围可能更严格。相反，在使用负反馈回路MEMS传感器具有许多优点，如改进的带宽，工艺和温度变化的MEMS装置具有较低的敏情感。另外，由于C / V误差信号仅进行处理，以开环模式相比，C / V的动态范围和线性度指数可以放宽。为了保证系统的稳定性，海德汉735117-52编码器反馈回路的正确的设计是非常重要的。
在电容性传感器，所述反馈信号以在MEMS结构体的形式施加到电极的激励电压信号的电容。所施加的电压产生施加到MEMS和质量一个静电。因此，海德汉735117-52编码器最终的系统的形成被称作力反馈系统。然而，大于第二力电容器电压之间的关系，这将限制系统的线性度。
克服电压比（V / F）的二次负荷被施加激励信号差分模式，以便抵消二次项的力的一种方法。然而，该技术需要的正和负电压值，这将增加传感器接口的ASIC的复杂性。海德汉735117-52编码器更重要的是，所需的两个励磁差动电容的工作如果不匹配，海德汉735117-52编码器也不会完全抵消二次项激励，海德汉735117-52编码器因此不匹配的电容会限制系统的性能就可以实现。
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光栅尺读数头
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