电动真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管，保证十万次以上的循环使用，轴向驱动力可达到150N，在保证超高真空密封的同时，通过电机驱动，实现高精度的直线驱动，精确位置控制，安装角度自由；根据客户要求，可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构，客户根据使用要求选用。
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主要参数 |
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适用范围： |
105～5x10-7Pa |
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真空漏率： |
≤1x10-10Pa.m3/s |
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适用温度： |
-30～300℃ |
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驱动方式： |
电动 |
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驱动方向： |
直线 |
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安装状态： |
任意方向 |
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连接方式： |
CF法兰或客户指定 |
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主要零件材料 |
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焊接波纹管 |
316L |
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刻度圆柱 |
304 |
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进给刻度盘 |
LV12阳极化 |
