型号			VK-9510K
类型			控制器
综合倍率			28,800 倍以下*1
视野 (最小视野范围)			11 μm 至 7,398 μm
帧率 (激光测量速度)			4 至 125 Hz、7,900 Hz*2
测量原理	光学系统		针孔共聚焦光学系统、变焦
	光接收元件		16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS
	扫描方式 (常规测量时及图像拼接时)		自动上下限设定功能、高速光量化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描)
高量	显示分辨率		0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050)
	线性标尺
	动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)		16 bit
	重复精度σ	激光共聚焦	20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100) 20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050)
		变焦	5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100) 5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm (VK-X1050)
	高度数据获取范围		70 万步骤
	准确性		0.2 + L/100 μm 或更小 (L = 测量长度 μm)*3
宽度测量	显示分辨率		1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050)
	重复精度 3σ	激光共聚焦	20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100) 20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050)
		变焦	5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100) 5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm (VK-X1050)
	准确性		测量值±2 % 以内*3
XY 载物台结构	手动 运行范围		70 mm x 70 mm
	电动 运行范围		100 mm x 100 mm
观察	观察图像		超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像
	照明		环状照明、同轴落射照明
测量用激光光源	波长		紫色半导体激光 404 nm (VK-X1100) 红色半导体激光 661 nm (VK-X1050)
	输出		1 mW
	激光产品		2 类激光产品 (GB7247.1)
电源	电源电压		100 至 240 VAC、50/60 Hz
	消耗电流		150 VA
重量			约 3.0 kg
*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 *2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 μm 时。 *3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。